中国SMEEが成熟ノードリソグラフィの自給自足を推進

CIIEにおいて、SMEEはi線/KrF共用リソグラフィプラットフォームのカットアウェイモデルを展示し、同社の導入済み装置が1,000万枚以上のウェハーを処理したと主張した。機械そのものよりも、そのシグナルが重要である。

戦略的なポイントは、中国が最先端に到達したということではない。i線とKrFは成熟ノード向けであり、先端ロジックを定義するArF液浸やEUVツールには遠く及ばない。重要なのはスループットの信頼性である。実際の量産使用を反映した数値であれば、議論は試作品から実用的なファブツールへと移行する。輸出規制が強化される中、北京の優先事項は最先端への到達から、電源管理、ディスプレイドライバー、マイコン、アナログ部品を支える成熟ノードサプライチェーンにおける単一障害点の排除へとシフトしている。これらのチップは自動車、家電、産業機器を動かし、需要は大きく持続的である。ファブが認証できる国産ステッパーは、欧米と日本のサプライヤーが中国の後工程キャパシティに対して恒久的な影響力を持つという前提を崩す。

グローバルには、これによりベンダーが安定収益源として扱ってきたセグメントで装置市場が再編される。成熟ノードリソグラフィは、まさに代替選択肢が少ないため、快適で高マージンのフランチャイズであった。中国のファブがi線とKrFでデュアルソーシングや代替を始めれば、価格決定力はまず中国で圧縮され、次に数量シフトに伴い広範なカタログへと波及する。現実的なタイムラインは四半期ではなく年単位であり、歩留まり、稼働時間、オーバーレイ精度といった未解決の問題はCIIEのモデルでは答えられていない。

日本にとって、この影響は直接的であり、十分に議論されていない。日本企業は、まさにSMEEが狙っているカテゴリーを支配している。成熟ノード側のステッパーとスキャナーライン、さらにあらゆるリソグラフィプラットフォームが依存するフォトレジスト、光学系、精密ステージ、計測技術である。信頼できる中国国産の代替品は、これらのビジネスを静かに支えてきた中国収益を脅かす。同じサプライヤーが依然として中国のファブにサブシステムや材料を販売しているにもかかわらずである。日本の装置・材料メーカーは、中国がツールを国産化しても日本の消耗品を必要とする世界をシミュレートし、国産化が最終的にコンポーネントスタック上層にも及ぶリスクを織り込むべきである。

日本の半導体メーカーと国内に建設中のファブにとっては、解釈が異なる。成熟ノードで自給自足する中国は、汎用アナログや電源デバイスでより激しく競争し、日本が新キャパシティで守ろうとしているまさにそのセグメントでマージンを圧迫する。日本のSIerとエンタープライズバイヤーは、その下流版に直面する。調達、コンプライアンス、部品認証が地域によって分岐する二極化したコンポーネントサプライチェーンである。調達と製造IT部門は、サプライヤー原産地追跡とマルチソース認証を長期的な政策の抽象概念ではなく、短期的なエンジニアリング作業として扱うべきである。